第541章 终于对上了！

联合攻关第二十七天。

上午九点，整机测试中心。

老梁把最新一份检测报告拍在桌上，盯着那几处标红的数据，眉头拧得能夹死蚊子。

“又是这里。”

第一轮完整曝光链路跑通以后，他们没有停下来庆祝。

二十天里，设备窗口几乎排得满满当当。

光源、反射光学、工件台、计量控制，每个组都拿出了实打实的改进。

如今，连续完成多轮对准曝光已经不是难题。

真正麻烦的是，印出来的图形，有些区域对得很准，有些区域却总要偏上一点。

同一片晶圆，中心位置漂亮，边缘几处却总过不了预定的阶段标准。

“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再这么试下去，怕是真得延期。”

坐在旁边的计量组负责人没反驳。

谁也不愿意延期。

可技术这东西，不是喊两句口号就能变好的。

更何况，三十天的期限是他们自己定的。

做不到照实汇报就是了，没人会拿设备安全和检测数据开玩笑。

陈知远却没接话。

他正翻着过去几轮的晶圆检测结果。

一张，两张，三张。

几组分布图在屏幕上来回切换。

忽然，他停住了。

“梁老师，把这三张叠到一起。”

“嗯？”

“再加上各自曝光之前的晶圆形貌测量。”

老梁没多问，直接招呼人调数据。

几分钟后，一张新的对照图出现在屏幕上。

陈知远伸手点了点右上角。

“看这里。”

老梁凑过去：“这不是之前那几处对不准的地方吗？”

“对，但你看它们偏的方向。”

陈知远把其中一张图放大，又将另一组测量数据移到旁边。

“我们一直按整片晶圆的统一基准去修正位置，可这些偏差不是整片一起往一个方向跑。”

“部分区域的形貌变化不同，原来的统一校正把一些地方修好了，也把另一些地方带偏了。”

计量组负责人听到这里，表情慢慢变了。

他盯着屏幕，过了好几秒才道：“你是说，我们缺的不是再提高一次全局定位精度，而是把分区域的误差单独考虑进去？”

“至少这几组记录支持这个方向。”

陈知远点头。

在【真理之眼】的帮助下，那些分散在不同测试批次中的细微差异，像被一根看不见的线串了起来。

这不是凭空冒出来的答案。

过去二十多天，几家研究所的技术资料、设备记录和检测报告，他几乎全部看过。

该懂的原理、该了解的限制，早已在脑海里形成了一套完整的框架。

此刻，他只是比别人更快地看到了那块一直没拼上的地方。

“先别动设备。”陈知远说，“拿前几轮的数据做离线验证，用一部分建立区域误差映射，剩下的别参与调整，直接拿来检验。”

老梁一下来了精神。

“行！”

他转身就招呼人。

原本还有些沉闷的工作室，突然又忙了起来。

中午十二点。

第一版离线结果出来。

下午两点，第二批没有参与建模的历史数据也得到改善。

到了傍晚，计量组负责人盯着最后一份报告，终于忍不住笑了。

“真让你找着了！”

老梁一把拿过报告，翻了两页，又抬头看向陈知远。

“你这脑子到底怎么长的？”

“正常长的。”陈知远笑道，“就是比你们少走了点弯路。”

“你管这叫一点？”

老梁被气笑了。

可笑过之后，他又低头看了眼那份报告。

二十多天。

那么多人把每个系统都翻来覆去地查，偏偏没想到把晶圆不同区域的形貌变化和对准误差这样放在一起看。

最让他服气的，还不是陈知远想到了这个方向。

而是这小子一旦判断出问题，几乎立刻就知道该用什么现成的数据来证明，甚至连验证可能踩到的坑都提前避开了。

这才是真正

吓人的地方。

当天晚上，周启山看完报告，直接批准了下一轮受控测试的准备工作。

设备检查、风险复核、原控制方案保留、独立计量安排，一项没省。

陈知远也没打算通宵守在控制室里。

把关键安排确认好，他照常回去休息。

这些天，他每天该睡就睡，第二天却总是第一个能把问题想清楚的人。

老梁本来还想劝他年轻也别硬撑，后来想想，最需要劝的好像是自己。

奇怪的是，和陈知远连续共事这阵子，他晚上反倒比之前睡得踏实了。

“项目有盼头了，觉都好睡。”老梁自己给自己找了个解释。

第二十九天。

上午十点。

三位牵头院士都来到了整机测试中心。

周启山端着保温杯，站在监控屏幕前。

“最后确认一次。”

“测试流程和退出条件全部复核完毕。”

“独立计量组已就位。”

“样片编号完成，检测标准不作临时调整。”

一项项回答落下。

周启山看向陈知远。

“开始？”

“开始吧。”

陈知远点头。

设备按程序运转。

没有惊天动地的声响，也没有什么炫目的光芒。

控制室里，只有一行行平静变化的状态数据。

可在场的每个人，都知道今天这场测试意味着什么。

他们不再只是证明设备能把图形印出来。

他们要证明，在预定的受控条件下，原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。

第一片测试晶圆完成曝光，送去检测。

等待的时候，老梁想喝口水，拧开杯子才发现里面早空了。

“你紧张什么？”陈知远瞥了他一眼。

“废话。”老梁把杯子放下，“你小子倒是坐得住。”

陈知远笑了笑。

他当然也期待结果。

只不过，能做的工作都已经做到位了，剩下的就交给数据。

约莫半小时后，计量组的电话来了。

负责人拿着报告快步走进控制室。

“第一片，符合预定指标！”

老梁腾地站了起来。

有人已经忍不住笑出声。

周启山却抬了抬手。

“别急，还有后面两片。”

第一片成功，值得高兴。

但他们今天要的，从来不是一次运气好的结果。

第二片送检。

等待。

“第二片也通过了！”

这次，就连周启山握着保温杯的手，都不自觉收紧了几分。

控制室里几个人互相看了看，谁也没再说笑。

第三片。

时间似乎变得格外慢。

负责计量的老工程师姓罗，大家平时都叫他罗工。

他在相关精密装备项目里干了十几年，最清楚一份漂亮的图，和一份经得起复核的结果之间差着多少事。

检测台前，年轻同事已经盯得眼睛发酸。

“罗工，数据出来了。”

老罗接过结果，先核对样片编号，又检查检测条件。

接着，他把几个关键位置的记录重新看了一遍。

没有临时改口径。

没有排除不合格区域。

第三片样片，同样满足这轮预先确定的阶段验证要求。

老罗把报告放在桌上，手掌压着纸面，半天没动。

“师傅？”年轻同事喊了他一声。

老罗吸了口气。

“发过去吧。”

“结论怎么写？”

“按事实写。”

他抬起头，声音有些哑，却说得格外清楚。

“重复性验证通过，独立计量结果，符合本阶段要求。”

控制室里。

报告传到大屏幕上的那一刻，先是安静。

紧接着，老梁猛地一拍桌子。

“过了！”

“真过了！”

有人一下从椅子上跳起来，有人笑着跟旁边的人握手，还有位工程师第一反应是掏出手机，想给同事报

喜，刚点亮屏幕，又想起保密规定，赶紧收了回去。

“差点忘了。”他自己都笑了。

周启山没有制止大家。

老人只是站在原地，看着那几份检测结果。

第一片。

第二片。

第三片。

三份独立记录，三次合格结论。

他带队做了这么多年工程，当然知道这不是终点。

样片通过阶段验证，不代表设备已经具备稳定量产能力。

下一步还要面对更多工况、更长时间运行、效率和良率等一连串难关。

可是，那又怎么样呢？

今天这一步，是真的跨过去了。

“周院士？”顾明远在一旁提醒。

周启山这才回过神，低头笑了笑。

“把所有原始记录归档，按程序准备阶段评审。”

说完，他终于抬起头，重重吐出一口气。

“这回，可以高兴一会儿了。”

控制室里顿时响起一阵笑声。

不多时，老罗也走了过来。

看着屏幕上的结果，他却没跟着笑得多大声。

身边年轻的研究员兴奋得脸都红了。

“罗工，真成了！”

“我看见了。”

老罗扶了扶眼镜。

“就是……”

他顿了顿。

十几年前刚进项目组时，跟他一起熬夜调设备的几个老伙计，如今有的退休了，有的去了别的单位。

那时候大家最常说的一句话就是，慢慢来，总有一天能做出来。

可一年又一年过去，慢慢来三个字，说起来也越来越重。

老罗用手背碰了碰眼角，忽然笑了。

“就是没想到，真能在我还没退休的时候，看见这么一天。”

旁边的年轻人一时不知道该说什么。

倒是老梁走过来，轻轻拍了拍他的肩膀。

“这才到哪儿啊？后面还有得忙呢。”

“知道。”老罗笑着点头，“我还能干。”

陈知远站在不远处，看着这一幕，也跟着笑了。

这段时间他已经很清楚，这个项目从来不是因为自己突然出现，才凭空长出了一台设备。

是无数人把十几年、几十年的积累，一点点垒到了今天。

而他所做的，就是让那些原本已经摆在那里的东西，更快地走到了一起。

周启山走到他面前。

“知远。”

“周院士。”

“这次你干得漂亮。”

老人看着他，认真道：“三十天前让你牵头，是看你有这个本事，现在这份结果摆在这儿，我也算能放心跟其他人交代了。”

陈知远笑道：“本来就是大家一起完成的。”

“当然是大家的功劳。”

周启山点头，随后又补了一句。

“但你的贡献，谁也不会少记一分。”

他转头看向另外两位院士。

“我建议尽快启动正式阶段评审，下一阶段整机技术路线的核心讨论，也让知远继续参加。”

两人没有犹豫。

“同意。”

“我也同意，今天的报告，我来签字确认送审。”

项目办公室很快忙了起来。

这一轮验证的全部材料，将按程序送交专项评审组；阶段成果报告，也将同步上报相关主管部门。

老梁听完这个安排，忍不住凑到陈知远身边。

“十九岁啊。”

“怎么？”

“没什么。”老梁笑得直摇头，“就是忽然觉得，你以后要干的事，恐怕还真不止这一台光刻机。”

陈知远望向玻璃窗另一侧的原型平台。

“这台机器还远没到能让人满意的时候呢。”

“你还不满意？”

“满意今天的结果。”陈知远笑道，“但总不能到这儿就停下吧？”

老梁看了他几秒，也笑了。

“行，听你的。”

当天下午，一份标注着“阶段验证达到预定目标”的内部报告正式完成。

核心技术贡献人员名单中，陈知远的名字，赫然列在前面。

而这份报告的下一站，是京城。